工艺方向的内容与资料。
相控阵模组用异质集成把 BFIC、天线与馈电网络封在一起，难点在热与互连一致性。
GaN 功放靠异质外延与匹配网络实现高功率密度，工艺窗口卡在栅工艺与热管理。
OTA 暗室靠吸波材料、静区设计与探头排布保证测量不确定度，难点在低频截止与边缘反射。
